इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के तेजी से विकास के साथ, विशेष रूप से अर्धचालक उद्योग, शुद्ध पानी की गुणवत्ता के लिए आवश्यकताओं को लगातार बेहतर बनाया गया है, और पानी में आयनों, उद्धरणों, कणों की संख्या, कार्बनिक पदार्थ, बैक्टीरिया आदि की सामग्री के लिए मात्रात्मक संकेतक धीरे -धीरे प्रतिबंधित हो गए हैं। हाल के वर्षों में घर और विदेशों में रिपोर्ट की गई कई जल उत्पादन प्रक्रियाएं निम्नलिखित हैं।
1। एक निश्चित अल्ट्रा-बड़े-पैमाने पर एकीकृत सर्किट उत्पादन संयंत्र में शुद्ध जल प्रणाली में एक दिखावा प्रणाली, एक प्राथमिक शुद्ध जल निर्माण प्रणाली, एक माध्यमिक शुद्ध जल निर्माण प्रणाली और जल निकासी वसूली और अन्य शाखा प्रणालियों में शामिल हैं।
एक। प्रीट्रीटमेंट सिस्टम। कच्चे पानी की गुणवत्ता के अनुसार, एक जमावट दबाव वाले फ्लोटेशन डिवाइस, एक डबल-लेयर फिल्टर और एक कार्बन डाइऑक्साइड डिगासिंग टॉवर का उपयोग किया जाता है। जमावट के बाद, कच्चे पानी में निलंबित पदार्थ और आंशिक रूप से भंग कार्बनिक पदार्थ को उनके कम घनत्व के कारण बसना मुश्किल होता है। दबाव वाले प्लॉटेशन उपचार को प्रभावी ढंग से हटाया जा सकता है। पोस्ट किए गए डबल-लेयर फ़िल्टर कच्चे पानी को और स्पष्ट करने के लिए फ्लोटेशन डिवाइस से बारीक जमावट को उजागर कर सकते हैं। बाइकार्बोनेट घटक को कार्बन डाइऑक्साइड डिगासिंग टॉवर द्वारा हटा दिया जाता है ताकि पोस्ट किए गए आरओ केंद्रित पानी की साइड झिल्ली की सतह पर कैल्शियम कार्बोनेट की वर्षा को रोका जा सके।
बी। प्राथमिक शुद्ध जल प्रणाली। सिस्टम में तीन-चरण आरओ, डीऑक्सीजनेशन डिवाइस और आयन एक्सचेंज कॉलम शामिल हैं। आरओ झिल्ली कम दबाव वाले पॉलीमाइड झिल्ली को अपनाता है। प्रथम-चरण आरओ मुख्य रूप से अधिकांश आयनों, उद्धरणों और कार्बनिक पदार्थों को हटा देता है; दूसरा-चरण आरओ मुख्य रूप से शेष आयनों, उद्धरणों, सिलिकॉन और कार्बनिक पदार्थ को हटा देता है; तीसरा-चरण आरओ मुख्य रूप से अवशिष्ट उद्धरणों का पता लगाता है और प्रतिरोधकता में सुधार करता है।
डीऑक्सीजनेशन डिवाइस खोखले फाइबर झिल्ली को गोद लेता है, जो आवश्यक एकाग्रता के नीचे भंग ऑक्सीजन को हटा सकता है, और आयन एक्सचेंज राल के प्रतिस्थापन आवृत्ति को कम करने के लिए पोस्ट-एक्सचेंज कॉलम के भार को कम करते हुए, अवशिष्ट कार्बन डाइऑक्साइड को भी हटा देता है।
आयन एक्सचेंज कॉलम बहुत कम मात्रा में आयनों, भारी धातुओं, सिलिकॉन और भंग कार्बन डाइऑक्साइड को आरओ उपचारित पानी में शेष कर सकता है। एक्सचेंज कॉलम गैर-पुनर्जीवित है, और इसका उद्देश्य पुनर्जनन के दौरान उपचारित पानी की गुणवत्ता को प्रभावित करने से अवशिष्ट सीएल और ओएच- को रोकना है। 80%की सामान्य वसूली दर के अनुसार, एक्सचेंज राल को हर छह महीने में बदल दिया जाता है।
सी। माध्यमिक शुद्ध जल प्रणाली। सिस्टम में हीट एक्सचेंजर, एक पराबैंगनी ऑक्सीडाइज़र, एक पोलिशर और एक अल्ट्राफिल्ट्रेशन सिस्टम शामिल हैं। पराबैंगनी ऑक्सीडाइज़र प्राथमिक शुद्ध जल उपचार पानी में शेष टीओसी घटकों की बहुत कम मात्रा को विघटित करने के लिए एक कम दबाव 185nm पराबैंगनी लैंप का उपयोग करता है। यह विशेष रूप से आरओ झिल्ली में कम हटाने की दर के साथ कम सापेक्ष आणविक द्रव्यमान कार्बनिक पदार्थ को विघटित करने के लिए उपयुक्त है।
पोलिशर टीओसी को विघटित करने के लिए प्री-अल्ट्रावॉयलेट ऑक्सीडाइज़र द्वारा उत्पादित कार्बनिक पदार्थ और सीओ 2 को हटाने के लिए कम-डिसोल्यूशन यूनिफॉर्म बॉल राल का उपयोग करता है, और साथ ही प्राथमिक शुद्ध पानी में बहुत ट्रेस आयनों, सिलिकॉन, भारी धातुओं आदि को हटा देता है, ताकि प्रतिरोधकता एक उच्च स्तर पर स्थिर हो जाए। अल्ट्राफिल्ट्रेशन सिस्टम अंततः प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अल्ट्राप्योर वाटर डिवाइस के अंत में आयन घटकों को हटा देता है। इस प्रणाली के झिल्ली घटक बाहरी दबाव अल्ट्राफिल्ट्रेशन झिल्ली का उपयोग करते हैं जो स्वयं आयनों का उत्पादन नहीं करते हैं।
डी। ड्रेनेज रिकवरी सिस्टम। सिस्टम में एक सक्रिय कार्बन फिल्टर और एक आयनों एक्सचेंजर होते हैं। चूंकि बरामद पानी में H2O2 होता है, इसलिए 42-, f-, cl-, nh 4+, आदि, H2O2 को सक्रिय कार्बन सोखना द्वारा हटा दिया जाता है; तो 42-, f-, cl- एक आयनों के एक्सचेंजर द्वारा हटा दिया जाता है, और NH 4+ पोस्ट-आरओ द्वारा हटा दिया जाता है।
2। मेगा-स्तरीय नई उच्च शुद्धता वाले जल निर्माण प्रणाली, सिस्टम की प्रतिरोधकता, भंग ऑक्सीजन और SiO2 और अन्य संकेतक मूल रूप से आवश्यकताओं को पूरा करते हैं, लेकिन TOC, कण गणना और बैक्टीरिया की गिनती को यह सुनिश्चित करने के लिए संबंधित उपायों के साथ इलाज किया जाना चाहिए कि उन्हें गारंटी दी जा सकती है। इसकी जल उत्पादन प्रक्रिया में निम्नलिखित विशेषताएं हैं।
एक। कच्चे पानी को माइक्रो-फ्लोकुलेशन द्वारा फ़िल्टर किया जाता है, अर्थात्, पीएसी को फ्लोकुलेशन के लिए पानी के इनलेट पाइप में जोड़ा जाता है, और फिर क्वार्ट्ज रेत और एन्थ्रेसाइट के साथ डबल-लेयर निस्पंदन किया जाता है।
बी। सक्रिय कार्बन निस्पंदन को मजबूत एसिड केशन बेड और डिगासिंग टॉवर के बाद रखा जाता है। चूंकि इनलेट पानी का पीएच मान अम्लीय है, इसलिए यह माइक्रोबियल प्रजनन को रोक सकता है और कार्बनिक पदार्थों को हटाने के प्रभाव को प्राप्त कर सकता है।
सी। रिवर्स ऑस्मोसिस डिवाइस आयन एक्सचेंज के बाद सेट किया गया है, जो झिल्ली प्रदूषण और झिल्ली स्केलिंग के कारण होने वाले रिवर्स ऑस्मोसिस घटक की रुकावट को रोक सकता है, विशेष रूप से एक बड़े SiO2 सामग्री के साथ कच्चे पानी के लिए।
डी। दो डिगासिंग का उपयोग किया जाता है, दूसरा एक वैक्यूम डिगैसिंग है, जो पानी में भंग ऑक्सीजन और वाष्पशील टीओसी को हटा सकता है।
ई। दो-चरण पराबैंगनी नसबंदी का उपयोग किया जाता है, और बाद का चरण बैक्टीरिया को रिवर्स ऑस्मोसिस पॉलिशिंग (एफआरओ) डिवाइस की झिल्ली सतह पर बनने से रोकने के लिए है।
एफ। पारंपरिक अल्ट्राफिल्ट्रेशन के बजाय रिवर्स ऑस्मोसिस डिवाइस (फ्रो पॉलिशिंग) का उपयोग करें। FRO में, सिंथेटिक मिश्रित झिल्ली के उपयोग के कारण, TOC हटाने की दर बहुत अधिक है।
3। 16 मीटर इन-सीटू डिवाइस द्वारा निर्मित एक विशिष्ट उच्च शुद्धता वाली जल प्रणाली, जिसमें एक उच्च-शुद्धता वाले जल शोधन संचलन प्रणाली और एक उच्च-शुद्धता वाले पानी की पुनरावृत्ति प्रणाली शामिल हैं।
इस प्रणाली में जल उत्पादन प्रक्रिया में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
एक। पानी को रिवर्स ऑस्मोसिस में प्रवेश करने से पहले बैक्टीरिया के विकास को कम करने के लिए सक्रिय कार्बन निस्पंदन के बाद क्लोरीन (2 ~ 4mg/L) जोड़ा जाता है।
बी। रिवर्स ऑस्मोसिस डिवाइस में, सेल्यूलोज एसीटेट झिल्ली का उपयोग फ्रंट स्टेज में किया जाता है और बैक स्टेज में पॉलीमाइड झिल्ली का उपयोग किया जाता है। दो झिल्लियों का उपयोग संयोजन में एक दूसरे के पूरक के लिए किया जाता है।
सी। बैक स्टेज रिवर्स ऑस्मोसिस से केंद्रित पानी को पुन: उपयोग के लिए फ्रंट स्टेज रिवर्स ऑस्मोसिस में लौटा दिया जा सकता है, जिससे पानी का पुन: उपयोग दर बढ़ जाती है।
डी। नाइट्रोजन सुरक्षा के अलावा, उच्च शुद्धता वाले जल भंडारण टैंक को भी 0 के साथ जोड़ा जाना चाहिए। बैक्टीरिया के विकास को रोकने के लिए शुद्ध ऑक्सीजन से बने ओजोन के 2mg/l।
ई। पानी में अवशिष्ट ओजोन को स्टरलाइज़ करने और हटाने के लिए 254nm पराबैंगनी लैंप का उपयोग करें। मिश्रित बिस्तर के बाद, 185nm पराबैंगनी लैंप का उपयोग करें, जो TOC को कम करने के लिए सामान्य अवधारण समय के 6 ~ 8 गुना के बराबर है।
एफ। ओजोन ({{0}}} जोड़ें। 08 ~ 0.1mg/l) मिश्रित बिस्तर के बाद TOC को और कम करने के लिए।
जी। पानी में भंग ऑक्सीजन को हटाने के लिए कैटालिटिक डीऑक्सीजनेशन सिस्टम (CORS), या एक दो-चरण वैक्यूम डिगासिंग डिवाइस का उपयोग करें।
एच। अल्ट्राफिल्ट्रेशन के बजाय रिवर्स ऑस्मोसिस का उपयोग करें ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि पानी में कण, कार्बनिक पदार्थ और निलंबित पदार्थ को सबसे कम स्तर तक शुद्ध किया गया है। रिवर्स ऑस्मोसिस 100 के सापेक्ष आणविक द्रव्यमान और 90%की एक प्रतिधारण दर के साथ एक समग्र झिल्ली का उपयोग करता है। प्राथमिक उपचार प्रणाली के रिवर्स ऑस्मोसिस डिवाइस के बाद सिस्टम पाइप पॉलीविनाइलिडीन फ्लोराइड पाइप (पीवीडीएफ) से बनाया जाना चाहिए, लेकिन रिवर्स ऑस्मोसिस उच्च दबाव वाले पाइप स्टेनलेस स्टील पाइपों से बने होना चाहिए
J.4m- स्तरीय डिवाइस उच्च शुद्धता वाले जल शोधन प्रणालियों का उपयोग करते हैं, और deoxygenation को नजरअंदाज किया जा सकता है। 1000 ~ 100000 के एक सापेक्ष आणविक द्रव्यमान वाले अल्ट्राफिल्ट्रेशन उपकरणों का उपयोग रिवर्स ऑस्मोसिस उपकरणों की आवश्यकता के बिना अंतिम उपचार के लिए किया जा सकता है।